M20系列微小氣體質量流量計
型號：M20
產品分類：流量
產品特點：氣體,小流量,精度高,體積小,數字化產品 ,多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等 , 可選高精度：可優于 0.5% , 可測范圍廣，0.01 ~ 100% 滿量程 , 響應時間快，優于 10 ms , 內置 98 種氣體 , 可現場標定混合氣體（最多 5 種成分），并存儲 20 種混合氣
介質要求 : 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 : 內置 98 種氣體，請參考背面一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量 程 : 從 0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（詳情請咨詢）
測量范圍： 0.01 ～ 100% 滿量程
最大顯示流量 ： 128% 滿量程
顯 示 屏： 帶按鍵，標準為 LCD 顯示屏，可選 TFT 彩色顯示屏
顯示方式 ： 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ： ± （0.8 % 讀數 + 0.2 % 滿量程） 精度升級部分見左下± （0.4 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）（可選）累計流量精度 流量精度之外增加 ± 0.5 % 額外誤差
重 復 性： ± （0.2 % 讀數 +0.02 % 滿量程）
最大工作壓力： 1 MPa 表壓（可選 2 MPaG 高壓系列）
最低操作壓力 ： 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓 80 KPaA 以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定
壓力精度： ±0.5 % 讀數（讀數＞ 1Atm），或 ±0.07 PSIA（＜ 1Atm）
最大進出口壓差 ： 0.5 MPa
數據刷新頻率： 數字信號 40 Hz @ 19200 波特率；模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 ： 10 Hz
數字輸入 / 輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232 / RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模擬輸入 / 輸出信號： 0 - 5 VDC、1 - 5 VDC、0 - 10 VDC、4 - 20 mA
可選第二路模擬輸出 ： 質量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 量程誤差
供電電壓：7 - 30 VDC （如選 4 - 20 mA 輸出，須為 15 - 30 VDC）
供電電流：40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）
輸出接口：DB9，可選 DB15、6 針工業接頭、8 針 Mini-DIN